设备名称：晶圆高空输送线

设备尺寸：可依客户需求定制

设备功能：晶圆厂的产品的运输

自动化搬运晶圆片盒（如open cassette）、托盘、组件等

利用工厂上方空间架设，优化空间

无缝集成到MES、MCS、RDT等系统，自动调度、追踪物料流向

系统可按需扩展，轨道长度、控制点可调               

性能指标：

振动值≤0.5g

cv运行速度150—450 mm|s

两段CV之间水平垂直度±0.05mm

技术特点：

具备CV缓存功能

支持CAD导入和手绘地图

自动排除拥堵和异常料盒回流功能

大屏展示功能，动态实时显示设备状态、料盒状况和任务执行状况

能与Stocker，Lifter，倒蓝，AGV无缝对接，实现智能空中物流搬运系统

适用产品：4寸，6寸，8寸晶圆