
半导体硅片厂4口Sorter是一种专为高洁净环境设计的晶圆盒智能分拣设备,具备四个独立的输入/输出端口,支持多路径物料分流与汇流,实现Open casstte在加工设备、Stocker、Lifter及OHT轨道之间的高效、精准调度。该设备采用密封式结构,确保Class 1级洁净度要求,集成SECS/GEM通信协议,可与MCS、MES系统无缝对接,支持自动识别、路径选择、缓冲存储与状态监控功能,具备高可靠性、低延迟和强扩展性,广泛应用于6-12英寸晶圆厂自动化物料搬运系统(AMHS),是提升厂内物流效率与智能化水平的核心枢纽设备。
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