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8口 sorter

半导体硅片厂8口Sorter是一种高性能、高集成度的晶圆盒(FOUP)智能分拣枢纽设备,配备八个独立的输入/输出端口,支持多流向同时进出,实现FOUP在加工区、Stocker、Lifter及OHT轨道之间的高效、灵活调度与路径分流。设备采用全封闭净化结构,满足ISO Class 1高洁净度要求与静电防护系统,确保晶圆传输过程无污染、无损伤。通过SECS/GEM协议与MCS、MES系统无缝集成,支持实时状态监控、自动路径规划、缓冲存储与故障预警,具备高吞吐量、低延迟、强扩展性等优势,专为6-12英寸先进制程晶圆厂的大规模自动化物料搬运系统(AMHS)设计,是提升厂内物流效率与智能化水平的关键核心设备。

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