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粒子离线检测设备

设备尺寸:900mm*900mm*2050mm(L*W*H)

设备功能:对ACF粒子进行形态检测,以此判定压力是否正常

性能指标:

    •UPH:180片/小时

    •量测精度:3μm

    •漏检率:0

    •设备故障率:≤2%

    •设备稼动率:≥98%

技术特点:

    •在线100%状态实时监测

    •产品正反面同步高效检测

    •自动图像对焦可检测应对存在较大翘曲的产品类型

    •自动图像对焦和图像增益功能可消除手动调试带来的差异

应用场景:粒子离线检测设备主要应用于半导体/消费电子的制程检测

适用产品:薄膜,基板玻璃,柔性面板,主板排线产品

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